[实用新型]一种光刻胶去边机

摘要

本实用新型涉及一种光刻胶去边机，包括真空涂胶装置，所述真空涂胶装置包括一透明硬质腔室和一设于腔室外部并与腔室连接的真空泵，所述腔室内设置有旋转涂胶台、涂胶嘴和刮胶装置，所述涂胶嘴设置在刮胶装置上并位于旋转涂胶台的中心上方；所述刮胶装置包括与腔室顶部连接的操作臂、固定于操作臂自由端的溶剂喷头以及与溶剂喷头连通的溶剂喷雾装置，所述操作臂设置在一与腔室底部连接的L型支架上，操作臂包括第一伸缩支臂和第二伸缩支臂，所述第一伸缩支臂竖直设置，其一端与L型支架自由端下侧壁可转动连接且位于旋转涂胶台的中心上方，第一伸缩支臂绕着第一伸缩支臂与L型支架自由端下侧壁的连接点旋转，其另一端与水平设置的第二伸缩支臂一端连接；所述涂胶嘴设置在第一伸缩支臂和第二伸缩支臂连接处。

主权项

一种光刻胶去边机，其特征在于：包括真空涂胶装置（1），所述真空涂胶装置（1）包括一透明硬质腔室（11）和一设于腔室（11）外部并与腔室（11）连接的真空泵（12），所述腔室（11）内设置有旋转涂胶台（13）、涂胶嘴（14）和刮胶装置（2），所述涂胶嘴（14）设置在刮胶装置（2）上并位于旋转涂胶台（13）的中心上方；所述刮胶装置（2）包括操作臂（21）、固定于操作臂（21）自由端的溶剂喷头（22）以及与溶剂喷头（22）连通的溶剂喷雾装置（23），所述操作臂（21）设置在一与腔室（11）底部连接的L型支架上，操作臂（21）包括第一伸缩支臂（211）和第二伸缩支臂（212），所述第一伸缩支臂（211）竖直设置，其一端与L型支架自由端下侧壁可转动连接且位于旋转涂胶台（13）的中心上方，第一伸缩支臂（211）绕着第一伸缩支臂（211）与L型支架自由端下侧壁的连接点旋转，其另一端与水平设置的第二伸缩支臂（212）一端连接；所述涂胶嘴（14）设置在第一伸缩支臂（211）和第二伸缩支臂（212）连接处。