[实用新型]超声波换能器和超声波指纹传感器有效
| 申请号： | 201720396599.4 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN207254707U | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 季锋;闻永祥;刘琛;周浩 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,张靖琳 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了超声波换能器和超声波指纹传感器。所述超声波换能器用于根据驱动信号产生超声波以及根据回波产生检测信号，其特征在于，包括掩模层，所述掩模层覆盖和围绕空腔，并且包括从表面延伸至所述空腔的开口；以及位于所述掩模层上的压电叠层。该超声波换能器利用图案化牺牲层形成空腔，从而可以降低制造成本以及提高传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 换能器 指纹 传感器 | ||
【主权项】：
一种超声波换能器，用于根据驱动信号产生超声波以及根据回波产生检测信号，其特征在于，包括：掩模层，所述掩模层覆盖和围绕空腔，并且包括从表面延伸至所述空腔的开口；以及位于所述掩模层上的压电叠层。
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