[实用新型]一种用于高温腐蚀性气体的扩散炉

摘要

本实用新型涉及一种用于高温腐蚀性气体的扩散炉，包括石英管体、连接在所述的石英管体上的不锈钢水套以及连接在所述的不锈钢水套上的不锈钢炉门，所述的不锈钢水套的内周面上、所述的不锈钢炉门的内侧面上均涂覆有耐高温腐蚀层。本实用新型通过设置耐高温腐蚀层，能有效的保证设备不会被腐蚀性气体腐蚀，大大的提高了设备的使用寿命，同时大大提高了产品的质量，而且适用范围广，可以对半导体晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

主权项

一种用于高温腐蚀性气体的扩散炉，包括石英管体、连接在所述的石英管体上的不锈钢水套以及连接在所述的不锈钢水套上的不锈钢炉门，其特征在于：所述的不锈钢水套的内周面上、所述的不锈钢炉门的内侧面上均涂覆有耐高温腐蚀层，所述的不锈钢水套包括套设在所述的石英管体外部的第一水套、连接在所述的石英管体的端部并与所述的第一水套相连接的第二水套，所述的不锈钢炉门连接在所述的第二水套上，所述的第二水套的内周面上涂覆有所述的耐高温腐蚀层，所述的第二水套与所述的第一水套、不锈钢炉门的连接端面上也涂覆有耐高温腐蚀层。