[实用新型]激光加工装置有效
申请号: | 201720324632.2 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN207071747U | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 奥间惇治;长尾光洋;福智升央;伊崎泰则 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/046;B23K26/70 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本实用新型提供可对应多个波长带的激光加工装置。激光加工装置(200)具备根据相位图案调制且反射从激光振荡器(310)输出的激光(L)的反射型空间光调制器(410)和将来自反射型空间光调制器(410)的激光(L)向加工对象物(1)聚光的聚光透镜单元(430)。反射型空间光调制器(410)具有激光(L)入射的表面(218a)、将从表面(218a)入射的激光(L)向表面(218a)反射的表面(214a)、配置于表面(218a)和表面(214a)之间且显示相位图案并调制激光(L)的液晶层(216)。在表面(214a)上形成有在相互不连续的多个波长带具有高反射率区域的电介质多层膜(反射膜(215))。 | ||
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【主权项】:
一种激光加工装置,其特征在于,是向对象物照射激光并进行所述对象物的激光加工的激光加工装置,具备:激光输出部,其输出所述激光;空间光调制器,其根据相位图案调制且反射从所述激光输出部输出的所述激光;及物镜,其将来自所述空间光调制器的所述激光向所述对象物聚光,所述空间光调制器具有所述激光入射的入射面、将从所述入射面入射的所述激光向所述入射面反射的反射面、配置于所述入射面和所述反射面之间且显示所述相位图案并调制所述激光的调制层,在所述反射面上形成有在相互不连续的多个波长带具有高反射率区域的电介质多层膜。
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