[实用新型]一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置

摘要

本实用新型公开了一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置，包括坩埚、辅助加热器、导光玻璃片、伺服电机a、温度计、进料口、过滤网、主加热器、支架、长晶器、转盘、滑轮、转轴、冷却水管道、隔热层、热门、热交换器、保温层、外护板和伺服电机b，坩埚的两侧均设置辅助加热器，辅助加热器的一侧设置有导光玻璃片，坩埚的顶部设置有温度计，温度计的一侧设置有进料口，进料口的内部设置有过滤网。本实用新型通过设置导光玻璃片来观察晶体生长的过程，来决定辅助加热器的大小，从而能够提高晶体的生长效率，控制坩埚是否过冷却，提高晶体的成核速度，提高热能效率，在进料口设置过滤网，用来提高晶体的纯度。

主权项

一种基于多晶碎片铺地的晶体生长工艺装置，包括坩埚（1）、辅助加热器（2）、导光玻璃片（3）、伺服电机a（4）、温度计（5）、进料口（6）、过滤网（7）、主加热器（8）、支架（9）、长晶器（10）、转盘（11）、滑轮（12）、转轴（13）、冷却水管道（14）、隔热层（15）、热门（16）、热交换器（17）、保温层（18）、外护板（19）和伺服电机b（20），其特征在于，所述坩埚（1）的两侧均设置辅助加热器（2），所述辅助加热器（2）的一侧设置有导光玻璃片（3），所述辅助加热器（2）与伺服电机a（4）电性连接，所述坩埚（1）的顶部设置有温度计（5），所述温度计（5）的一侧设置有进料口（6），所述进料口（6）的内部设置有过滤网（7），所述坩埚（1）的底部设置有主加热器（8），所述主加热器（8）的两侧设置有支架（9），所述主加热器（8）的底部设置有长晶器（10），所述长晶器（10）的底部设置有转盘（11），所述转盘（11）的外侧设置有滑轮（12），所述转盘（11）的内部设置有转轴（13）。