[实用新型]一种新型微波等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201720164441.4 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN206481488U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 邬钦崇;邬明旭;全峰 | 申请（专利权）人： | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型微波等离子体处理装置，由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的一端有第一进气接口，与工作气体气路系统相连接，伸入反应室的石英管的端口伸进旋转鼓容器。本实用新型利用石英管式微波等离子体源产生等离子体，输入到固定的反应室中，在反应室内放置一个旋转鼓，在旋转鼓的容器内放置待处理的粉体、短纤维或颗粒，构成一种微波等离子体处理装置。用这种装置，可对粉体、短纤维、颗粒等进行表面刻蚀、净化、接枝、沉积等功能化处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 微波 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种新型微波等离子体处理装置，其特征在于：由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，短路板至石英管的距离为λg/4，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的一端有第一进气接口，与工作气体气路系统相连接，石英管的另一端伸入反应室的上端面并用密封法兰和O形胶圈与圆柱腔体真空室形成真空连接，反应室的底端法兰上安装旋转鼓，与反应室形成真空动密封连接，伸入反应室的石英管的端口伸进旋转鼓容器，反应室底部通过反应室底端法兰盖密封，旋转鼓穿过反应室底端法兰盖至反应室内，并通过紧固螺栓锁紧。
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