[实用新型]多功能真空离子镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种多功能真空离子镀膜机，其包括真空室等，真空室固定在零电位环内，真空室上端固定有电解传感器，真空室下端固定有灭弧检测器，真空室表面固定有第一中频磁控溅射接口、第二中频磁控溅射接口、导电工件转架，中频磁控溅射源一端与第一中频磁控溅射接口相连，中频磁控溅射源另一端与第二中频磁控溅射接口相连，导电工件转架上固定有中频溅射源，等离子电弧蒸发源阳极与零电位环相连。本实用新型通过脉冲偏压电源产生离子轰击实现工件的镀膜加工，可以制备纯金属膜、合金膜和反应膜层，应用的镀膜产品类型丰富，膜层附着均匀且附着效果好。

主权项

一种多功能真空离子镀膜机，其特征在于，其包括真空室、电解传感器、导电工件转架、脉冲偏压电源、等离子电弧蒸发源、电弧电源、中频溅射源、溅射靶、溅射法兰、第一中频磁控溅射接口、第二中频磁控溅射接口、中频磁控溅射源、中频电源、气体离子源、灭弧检测器、零电位环，真空室固定在零电位环内，真空室上端固定有电解传感器，真空室下端固定有灭弧检测器，真空室表面固定有第一中频磁控溅射接口、第二中频磁控溅射接口、导电工件转架，中频磁控溅射源一端与第一中频磁控溅射接口相连，中频磁控溅射源另一端与第二中频磁控溅射接口相连，导电工件转架上固定有中频溅射源，等离子电弧蒸发源阳极与零电位环相连，等离子电弧蒸发源阴极与导电工件转架相连，电弧电源阳极与零电位环相连，电弧电源阴极连接至真空室，脉冲偏压电源阳极连接至真空室表面，脉冲偏压电源阴极与导电工件转架相连，溅射靶固定在真空室内部，溅射靶上固定有溅射法兰、八个中频电源、两个气体离子源。