[实用新型]一种基板的抛光装置有效
| 申请号： | 201720125087.4 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN206677689U | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 张民井;洪耀;毛成飞;曹瑞丰;郭丰;高裕弟;孙剑 | 申请（专利权）人： | 枣庄维信诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/24 | 分类号： | B24B7/24;B24B41/06;B24B51/00;B24B47/16;B24B41/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 277000 山东省枣*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种基板的抛光装置，其包括基座，所述基座支承抛光部，所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫；抛光部，其包括与所述基板接触的抛光板，所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方；驱动部，所述驱动部固定在所述基座上，所述驱动部驱动所述抛光部直线往复运动。本实用新型的基板的抛光装置，采用直线往复运动的形式对ITO表面进行抛光，能够避免采用高速旋转的抛光板引起的过度磨损并导致PIN HOLE的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种基板的抛光装置，其特征在于：包括：基座，所述基座支承抛光部，所述基座上设置有放置所述基板的抛光垫；抛光部，其包括与所述基板接触的抛光板，所述抛光板设置于所述基座上且位于所述抛光垫的上方；驱动部，所述驱动部固定在所述基座上，所述驱动部驱动所述抛光部直线往复运动。
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