[实用新型]激光加工装置

摘要

本实用新型提供一种可以精确地控制改质区域的形成位置的激光加工装置。激光加工装置(100)具备支撑加工对象物(1)的支撑台(107)；输出激光L的激光光源(101)；包含用于使激光L在上加工对象物(1)聚光的聚光透镜(105)的聚光单元(108)；用于沿着与表面(3)交叉的方向驱动聚光单元(108)的致动器(110)；沿着预定切断线(5)测定表面(3)的位移的位移传感器(114)；检测聚光单元(108)的温度的温度传感器；基于表面(3)的位移和聚光单元(108)的温度，算出致动器(110)产生的聚光单元(108)的驱动量，并且以致动器根据驱动量驱动聚光单元(108)的方式控制致动器(110)的聚光位置控制部(200)。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，是通过沿着加工预定线对加工对象物照射激光而进行加工对象物的激光加工的激光加工装置，具备：支撑台，支撑所述加工对象物；激光光源，输出所述激光；聚光单元，包含用于使所述激光聚光于支撑于所述支撑台的所述加工对象物的聚光透镜；移动部，使所述支撑台及所述聚光单元的至少一者沿着所述加工对象物的所述激光的入射面移动，并使所述激光的聚光点沿着所述加工预定线相对移动；致动器，用于沿着与所述入射面交叉的方向驱动所述聚光单元；位移传感器，沿着所述加工预定线测定所述入射面的位移；温度传感器，检测所述聚光单元的温度；以及控制部，基于所述位移传感器测定的所述入射面的位移和所述温度传感器检测的所述聚光单元的温度，算出所述致动器产生的所述聚光单元的驱动量，并且所述移动部使所述聚光点相对移动时，以对应于所述驱动量驱动所述聚光单元的方式，控制所述致动器。