[实用新型]用于抛光设备的抛光头夹持机构

摘要

一种用于抛光设备的抛光头夹持机构，其包括用于夹持固定抛光头的夹持件，该抛光头夹持机构还包括安装件及滑动驱动组件，该安装件可滑动地安装在一基板上，该夹持件固定安装在该安装件上，该滑动驱动组件包括滑动驱动件、转轴及传动件，该滑动驱动件与该转轴连接并能够驱动该转轴自转，该传动件与该转轴连接且该传动件与该转轴的连接点偏离于该转轴的轴线，该转轴的轴线与该安装件的滑动方向垂直。相较于一般抛光头夹持机构，本实用新型的抛光头夹持机构可使抛光头在抛光时可沿轴向来回移动，改善抛光效果。

主权项

一种用于抛光设备的抛光头夹持机构，其包括用于夹持固定抛光头的夹持件，其特征在于：该抛光头夹持机构还包括安装件及滑动驱动组件，该安装件可滑动地安装在一基板上，该夹持件固定安装在该安装件上，该滑动驱动组件包括滑动驱动件、转轴及传动件，该滑动驱动件与该转轴连接并能够驱动该转轴自转，该传动件与该转轴连接且该传动件与该转轴的连接点偏离于该转轴的轴线，该转轴的轴线与该安装件的滑动方向垂直，从而当该滑动驱动件驱动该转轴自转时，该传动件沿该转轴的径向来回移动，该传动件还与该安装件传动连接，从而当该传动件沿该转轴的径向来回移动时带动该安装件、该夹持件及该抛光头一起来回移动。