[实用新型]溅镀旋转靶旋转机构总成有效
| 申请号： | 201720048272.8 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN206502855U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 霍凯;陈宥廷 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及溅镀旋转靶旋转机构总成，包括外壳，所述外壳内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成和与之连接的时规皮带，所述旋转轴总成内部安装有定轴总成，所述旋转轴总成前后两端连接有油封组，所述旋转轴总成前段安装有连接法兰盘。本实用新型的优点是外壳的作用主要是用于支撑内部的构件；旋转轴总成内安装的定轴总成主要是安装磁棒后作为定位和定子的作用；旋转轴总成前后端的油封组，其中的一端主要用作正负压的隔绝，另一端用作冷却水外漏的隔绝。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 机构 总成 | ||
【主权项】：
溅镀旋转靶旋转机构总成，其特征在于：包括外壳，所述外壳内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成和与之连接的时规皮带，所述旋转轴总成内部安装有定轴总成，所述旋转轴总成前后两端连接有油封组，所述旋转轴总成前段安装有连接法兰盘。
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