[实用新型]一种安全可靠的磁控溅射仪有效
| 申请号： | 201720046518.8 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN206502856U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 侯则良 | 申请（专利权）人： | 福建省诺希科技园发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙)35217 | 代理人： | 刘建功 |
| 地址： | 350000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种安全可靠的磁控溅射仪，包括溅射室、预处理室、磁力传递杆、机械泵、分子泵和冷却水管，溅射室和处理室之设有阀板，预处理室和磁力传递杆相连，预处理室还与机械泵和分子泵相连，分子泵与冷却水管相连，冷却水管进水处设有水位检测开关，水位检测开关包括水位检测模块和继电器，水位检测模块包括壳体，壳体内设有水管，水管上设有一受其内水压可上下运动的活塞，活塞上端部设有一顶针，顶针一弹片，继电器包括电磁线圈和常开端，顶针和弹片串接在继电器的电磁线圈上，继电器常开端串接在分子泵电源线的L线上，这种磁控溅射仪在使用过程中，通过水位检测开关检测冷却水是否正常，从而控制分子泵的开关。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 安全 可靠 磁控溅射 | ||
【主权项】：
一种安全可靠的磁控溅射仪，包括溅射室、预处理室、磁力传递杆、机械泵、分子泵和冷却水管，溅射室和处理室之设有阀板，预处理室和磁力传递杆相连，预处理室还与机械泵和分子泵相连，分子泵与冷却水管相连，冷却水管进水处设有水位检测开关，其特征在于：所述水位检测开关包括水位检测模块和继电器，水位检测模块包括壳体，壳体内设有水管，水管上设有一受其内水压可上下运动的活塞，活塞上端部设有一具有导电能力的顶针，顶针上方设有一具有导电能力的弹片，继电器包括电磁线圈和常开端，顶针和弹片串接在继电器的电磁线圈上，继电器常开端串接在分子泵电源线的L线上。
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