[实用新型]一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备

摘要

本实用新型涉及一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，包括酸洗室、智能控制器和自动配酸装置，所述酸洗室内设置有支架，支架上设置有用于放置待酸洗石英坩埚的喷淋平台，所述喷淋平台的上方安装有上喷头，下方安装有下喷头，所述下喷头的下侧设置有用于回收氢氟酸的回收槽，所述上喷头和下喷头通过第一耐酸管经第一耐酸高压泵与安装在支架下侧的储酸罐相连通，所述储酸罐内安装有与智能控制器相连的水位传感器，储酸罐还通过第二耐酸管连接酸洗室外的自动配酸装置。该设备自动化程度较高，集酸清洗及酸配制为一体，显著的提高了生产效率，降低生产成本。

主权项

一种用于石英坩埚酸洗的自动化设备，其特征在于：包括酸洗室（1）、智能控制器（12）和自动配酸装置，所述酸洗室（1）内设置有支架（2），支架（2）上设置有用于放置待酸洗石英坩埚（3）的喷淋平台（4），所述喷淋平台（4）的上方架设有上喷头（5），下方安装有下喷头（6），所述下喷头（6）的下侧设置有用于回收氢氟酸的回收槽（7），所述上喷头（5）和下喷头（6）通过第一耐酸管（8）经第一耐酸高压泵（9）与安装在支架（2）下侧的储酸罐（10）连通，所述储酸罐（10）内安装有与智能控制器（12）相连的水位传感器（19），储酸罐（10）还通过第二耐酸管（11）连接至酸洗室（1）外的自动配酸装置，所述自动配酸装置包括水容器（13）、浓酸容器（14）和混合液容器（15），所述水容器（13）和浓酸容器（14）分别与混合液容器（15）连接，混合液容器（15）通过第二耐酸管（11）连接酸洗室（1）内的储酸罐（10）。