[实用新型]一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置

摘要

本实用新型公开了一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置，属于真空镀膜技术领域。该装置中，机架顶端安装有反应腔室，机架内部安装有旋转载物平台；至少两根升降丝杠竖直安装于机架两侧，旋转载物平台活动安装于至少两根升降丝杠之上，升降丝杠与升降电机相连；旋转载物平台上旋转安装有货架，所述工件依次摆放于货架的置物层上。旋转载物平台在需要装卸工件时，通过升降电机从反应腔室下降到便于装卸工件的位置，装卸工件时不需要托举到反应腔室位置，降低了装卸工件时的劳动强度，提高了装卸效率。旋转载物平台降低到便于取放工件的高度后，通过旋转电机带动旋转，旋转速度可调节到便于装卸工件的速度，有利于快速装卸工件。

主权项

一种纳米镀膜设备旋转升降载物平台装置，其特征在于，包括反应腔室(1)、旋转载物平台(2)、货架(3)、升降电机(4)、丝杠(5)、机架(6)、旋转电机(7)和工件(8)；所述机架(6)顶端安装有反应腔室，并与反应腔室(1)连通，机架内部安装有旋转载物平台(2)，旋转载物平台位于反应腔室正下方；至少两根升降丝杠(5)竖直安装于机架两侧，旋转载物平台活动安装于至少两根升降丝杠之上，升降丝杠与升降电机(4)相连；所述旋转载物平台上旋转安装有货架(3)，所述工件(8)依次摆放于货架的置物层上；所述旋转载物平台下安装有旋转电机(7)。