[发明专利]具有控温功能的离子源及其工作方法在审
| 申请号： | 201711494189.4 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN108428607A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 洪欢欢;闻路红;赵鹏;陈瑞强;宁录胜 | 申请（专利权）人： | 宁波大学;宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/04 | 分类号： | H01J3/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有控温功能的离子源及其工作方法，所述离子源包括高压电极；气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。本发明具有结构简单、升温快、降温快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 小段 离子源 测温部件 高压电极 气体管道 输送单元 过渡段 加热件 控温 气体输送 依次排列 承载件 检测 | ||
【主权项】：
1.一种具有控温功能的离子源，所述离子源包括高压电极；其特征在于：所述具有控温功能的离子源进一步包括：气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。
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