[发明专利]一种贝塞尔光束的监测装置有效

专利信息
申请号: 201711463922.6 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN107953028B 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 陶雄兵;徐俊南;李光辉;林小波;王耀波 申请(专利权)人: 东莞市盛雄激光先进装备股份有限公司
主分类号: B23K26/064 分类号: B23K26/064
代理公司: 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 张春水;唐京桥<国际申请>=<国际公布>
地址: 523770 广东省东莞市大*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明所提供的监测装置在激光器的输出光路上设有多个成像装置,对贝塞尔光束形成前后的激光进行多点检测,分别检测激光光束的质量及其稳定性、贝塞尔光束形成的激光光环质量及其聚焦光斑的质量,同时还能实时监测工件的加工效果,数据全面客观,偏差小。本发明的贝塞尔光束的监测装置包括:激光器,沿激光器的输出光路上依次设置有轴棱镜、第一聚焦管镜和聚焦镜,聚焦镜的聚焦点对准加工工件,激光器和轴棱镜之间设有第一半反射镜和第二半反射镜,第一聚焦管镜和聚焦镜之间设有第三半反射镜,第一半反射镜连接第一成像装置,第二半反射镜连接第二成像装置,第三半反射镜连接第三成像装置和第四成像装置。
搜索关键词: 一种 贝塞尔 光束 监测 装置
【主权项】:
1.一种贝塞尔光束的监测装置,包括:激光器,沿所述激光器的输出光路上依次设置有轴棱镜、第一聚焦管镜和聚焦镜,所述聚焦镜的聚焦点对准加工工件,其特征在于,所述激光器和所述轴棱镜之间设有第一半反射镜和第二半反射镜,所述第一聚焦管镜和所述聚焦镜之间设有第三半反射镜;/n所述第一半反射镜呈预置角度设置,在所述第一半反射镜的反射光路上设有第一成像装置;/n所述第二半反射镜呈预置角度设置,在所述第二半反射镜的反射光路上依次设有第二聚焦管镜和第二成像装置,所述第二聚焦管镜可在所述第二半反射镜和所述第二成像装置之间往复移动;/n所述第三半反射镜呈预置角度设置,在所述第三半反射镜的反射光路上设有第四半反射镜;所述第四半反射镜的反射光路上依次设有第三聚焦管镜和第三成像装置,所述第三聚焦管镜可在所述第四半反射镜和所述第三成像装置之间往复移动,所述第四半反射镜的直射光路对准第四成像装置;/n还包括:监测系统,所述监测系统电连接所述第一成像装置、第二成像装置、第三成像装置和第四成像装置,用于收集分析数据;/n还包括:运动系统和控制系统,所述运动系统电连接所述第一聚焦管镜和聚焦镜;/n所述控制系统电连接所述监测系统和运动系统,能根据监控数据实时驱动所述运动系统调节所述第二聚焦管镜和聚焦镜的位置。/n
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