[发明专利]基于反射式交叠衍射成像的相位恢复算法在审
| 申请号： | 201711454458.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108204949A | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 高志山;黄嘉铃;窦健泰;袁群;陈铭;殷慧敏;倪瑞沪 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/47 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于反射式交叠衍射成像的相位恢复算法，基于搭建反射式交叠衍射成像装置，在反射位置放置待测物体，使待测物体相对照明光逐行逐列地进行移动，在CCD靶面采集样品的衍射图样，取下待测物体，在反射位置放置反射镜，在CCD靶面采集照明光经过反射后的衍射图样，利用两次PIE算法，最终获得待测样品的相位信息。本发明具有无透镜成像，视场宽，收敛快，可检测反射式样品的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 反射式 待测物体 交叠 相位恢复算法 反射位置 衍射成像 衍射图样 照明光 采集 衍射成像装置 无透镜成像 待测样品 相位信息 逐行逐列 反射镜 可检测 取下 视场 算法 反射 收敛 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基于反射式交叠衍射成像的相位恢复算法，其特征在于，算法步骤如下：步骤1、搭建反射式交叠衍射成像装置：反射式交叠衍射成像装置包括光源(1)、X‑Y平移台(2)、待测样品(3)、反射镜(4)和CCD(5)，沿光路方向依次设置光源(1)、X‑Y平移台(2)和CCD(5)；反射镜(4)和待测样品(3)不同时设置在X‑Y平移台(2)上，光源(1)与CCD(5)处于同一水平高度；步骤2、打开光源(1)，将待测样品(3)置于X‑Y平移台(2)上，光源(1)以入射角θ入射到待测样品(3)上，反射光线被CCD(5)接收，调整X‑Y平移台(2)，使得待测样品(3)相对于光源(1)逐行逐列地进行移动，移动间隔L小于CCD(5)靶面尺寸的0.4倍，每次移动间隔相等，每次移动后在CCD(5)靶面上接收到1幅衍射图样，总共采集M幅衍射图样，M≥2；步骤3、取下待测样品(3)，将反射镜(4)置于X‑Y平移台(2)上，光源以入射角θ入射到反射镜(4)上，反射光线被CCD(5)接收，在CCD(5)靶面上采集到1幅光源直接反射后的衍射图样；步骤4、利用PIE算法处理步骤2中得到的M幅待测样品(3)衍射图样和步骤3中得到的光源衍射图样，恢复光源信息和待测样品的信息。
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