[发明专利]一种曲面光学元件表面疵病的检测装置及方法在审

专利信息
申请号: 201711450040.6 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN108152302A 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 马亮;陈坚;吴周令 申请(专利权)人: 合肥知常光电科技有限公司
主分类号: G01N21/958 分类号: G01N21/958;G01N21/88
代理公司: 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 代理人: 金凯
地址: 230031 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种曲面光学元件表面疵病的检测装置,包括照明系统和成像系统,所述照明系统内设有照明光源,所述成像系统包括成像镜头、成像装置以及与成像装置信号连接的处理器,所述照明光源设有在成像镜头外侧,所述成像装置至少包括一个同轴成像机构或侧成像机构,本发明的有益效果是:本发明基于光的散射原理,照明光源均匀照射在曲面光学元件表面,成像系统在曲面光学元件上方对其成像进行检测,可以对不同曲率半径的曲面光学元件进行检测,解决曲面光学元件表面疵病无法自动检测的难题,具有成本低、结构简单的优点。
搜索关键词: 曲面光学元件 表面疵病 成像系统 成像装置 照明光源 成像镜头 检测装置 照明系统 成像机构 均匀照射 散射原理 同轴成像 信号连接 自动检测 检测 处理器 成像
【主权项】:
一种曲面光学元件表面疵病的检测装置,包括照明系统和成像系统,所述照明系统内设有照明光源(4),所述成像系统包括成像镜头(3)、成像装置以及与成像装置信号连接的处理器(5),其特征在于,所述照明光源(4)设有在成像镜头(3)外侧,所述成像装置至少包括一个同轴成像机构或侧成像机构,所述同轴成像机构为一个与成像镜头(3)同轴的相机传感器(1),所述侧成像机构包括一个与成像镜头(3)轴线相交的相机传感器(1)以及设置在轴线交汇处的可见光部分反射镜(2),所述可见光部分反射镜(2)靠近成像镜头3一侧的镜面均镀膜面。
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