[发明专利]微透镜阵列、光学检测装置及微透镜阵列制备方法

摘要

本发明提供一种光学检测装置，用于检测纳米物体，包括：微流体器件、微透镜阵列、光源和光检测元件；其中，所述微流体器件包括相对设置的顶壁和底壁以及位于所述顶壁与所述底壁之间的微流体通道，所述微透镜阵列位于所述底壁的一个表面上，所述底壁由光学透明材料制成，所述光源设于所述底壁背离所述微透镜阵列的表面对向所述微透镜阵列的所在区域，所述光源的光照使所述微流体通道中形成光子纳米喷流区域；所述光检测元件接收所述光子纳米喷流区域的光以检测位于所述光子喷流区域内的纳米物体。本发明所述光检测装置利用集成于微流体器件中的微透镜阵列，对亚衍射极限的纳米物体进行表征。本发明还提供一种微透镜阵列及其制备方法。

主权项

1.一种微透镜阵列，其特征在于，包括：基底，设于所述基底上的微井阵列，所述微井阵列包括多个微井，以及位于所述微井中的微球透镜；其中，所述基底由光学透明材料制成，所述微井阵列由疏水性材料制成。