[发明专利]一种敞口石英安瓿的排气封接装置及方法有效
| 申请号： | 201711428605.0 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108203846B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 徐强强;吴卿;范叶霞;侯晓敏 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/48 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 张曦 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种敞口石英安瓿的排气封接装置及方法，采用本发明提供的排气封接装置在对石英安瓿进行排气封接的过程中，能够确保石英安瓿具有很好的密封性和高真空度，石英安瓿不会因应力作用而碎裂，同时，内表面镀碳膜的石英安瓿能够有效的对杂质元素进行阻挡，保持了晶体材料的纯度，也避免了Cd与石英安瓿的直接接触，安全可靠，设置的无碳膜接触区域确保了石英安瓿能够被直接封接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 敞口 石英 安瓿 排气 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种敞口石英安瓿的排气封接装置，其特征在于，包括设置在底板上的排气封接台和加热炉；所述排气封接台包括多个金属压环及多个密封圈；所述金属压环与所述密封圈交错设置在排气口处构成排气密封结构；所述石英安瓿的敞口端通过所述排气密封结构密封固定在所述排气封接台上；所述加热炉包括上、下两个可开合的半圆柱加热炉体，用于对所述石英安瓿内的多晶料进行加热。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十一研究所，未经中国电子科技集团公司第十一研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711428605.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单晶样片腐蚀机
- 下一篇：用于二代测序质量评估的文库、试剂及应用
