[发明专利]一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置及工艺

摘要

本发明提供了一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置及工艺，包括圆柱体不锈钢罐体，所述圆柱体不锈钢罐体上部设有盖子，盖子上连接抽风管道，盖子通过抽风管道与抽风机连接，抽风机通过抽风管道与尾气吸收塔连接，所述圆柱体不锈钢罐体内设有搅拌器，搅拌器连接电机，所述尾气吸收塔上端内部设有三级喷淋装置，所述三级喷淋装置与循环水泵的第一出水口连接，循环水泵的第一入水口与水箱连接，循环水泵的第二入水口与尾气吸收塔的底部连接，循环水泵的第二出水口与水箱连接。本发明通过该回收装置将提纯立方氮化硼过程中产生的尾气进行合理处理及利用，减少氢气造成的爆炸危险及氨气对作业人员造成的身体伤害。 1

主权项

1.一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置，其特征在于，包括圆柱体不锈钢罐体，所述圆柱体不锈钢罐体上部设有盖子，盖子上连接抽风管道，盖子通过抽风管道与抽风机连接，抽风机通过抽风管道与尾气吸收塔连接，所述圆柱体不锈钢罐体内设有搅拌器，搅拌器连接电机，所述尾气吸收塔上端内部设有三级喷淋装置，所述三级喷淋装置与循环水泵的第一出水口连接，循环水泵的第一入水口与水箱连接，循环水泵的第二入水口与尾气吸收塔的底部连接，循环水泵的第二出水口与水箱连接。

2.根据权利要求1所述的一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置，其特征在于，所述圆柱体不锈钢罐体底部为圆弧形，底部中心部位设有放料阀。

3.根据权利要求1所述的一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置，其特征在于，所述尾气吸收塔包括塔体，塔体的上方连接排气管道。

4.根据权利要求1所述的一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置，其特征在于，所述不锈钢罐体与抽风机之间的抽风管道上设有阀门。

5.根据权利要求1所述的一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置，其特征在于，所述不锈钢罐体与抽风机之间的抽风管道上设有煮酸工艺尾气入口，与煮酸工艺尾气排出管道的出口通过阀门连接。

6.一种回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的工艺，其特征在于，利用权利要求1~5任一项所述的回收再利用提纯立方氮化硼过程中尾气的装置，包括以下步骤：

1）将含有立方氮化硼的棒料倒入不锈钢罐体内，加入水，将棒料浸没；

2）启动搅拌器，同时打开抽风管道上的阀门和抽风机；

3）打开循环水泵和三级喷淋装置的开关。