[发明专利]一种大量程气体折射率实时测量系统在审
| 申请号： | 201711402904.7 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108254339A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 张铁犁;靳硕;刘晓旭;张修建;王兵 | 申请（专利权）人： | 北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 吕岩甲 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于气体折射率测量技术领域，具体涉及一种大量程气体折射率实时测量系统。可变腔长的真空腔由三个反射镜W1～W3构成，反射镜W1与W2形成一个真空腔，改变反射镜W1的位置改变真空腔的腔长；反射镜W2和W3固定不变，二者之间为空气；激光干涉系统包含四束激光干涉光路，从不同的位置分别射入可变腔长的真空腔，光束1由反射镜W1反射，光束2经过反射镜W1和真空腔由反射镜W2反射，光束3经过反射镜W1、W2和真空腔由反射镜W3反射，光束4经过反射镜W1、W2和空气由反射镜W3反射。本发明通过比较真空腔腔长改变前后干涉信号的相位差，实现气体折射率的绝对测量，然后通过实时测量真空腔内外光路光程差的相位变化，实现气体折射率的实时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜 真空腔 气体折射率 腔长 反射 实时测量系统 实时测量 大量程 可变 测量技术领域 激光干涉系统 干涉信号 激光干涉 绝对测量 相位变化 光路光 相位差 程差 光路 射入 | ||
【主权项】：
1.一种大量程气体折射率实时测量系统，其特征在于：包含可变腔长的真空腔和激光干涉系统；可变腔长的真空腔由三个反射镜W1～W3构成，反射镜W1与W2形成一个真空腔，可通过改变反射镜W1的位置来改变真空腔的腔长；反射镜W2和W3固定不变，二者之间为空气；激光干涉系统包含四束激光干涉光路，从不同的位置分别射入可变腔长的真空腔，由不同的反射镜反射：光束1由反射镜W1反射，光束2经过反射镜W1和真空腔由反射镜W2反射，光束3经过反射镜W1、W2和真空腔由反射镜W3反射，光束4经过反射镜W1、W2和空气由反射镜W3反射。
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