[发明专利]适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统

摘要

本发明公开了一种适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，包括有钨铜靶板和探针组件。钨铜靶板为钨片、无氧纯铜适应层和铬锆铜基座焊接而成，铬锆铜基座内被中间隔座隔分为两个水冷管道，水冷管道与连接铜管、进水铜管和出水铜管焊接连接而成。探针组件包括有探针头、前端陶瓷圈、铜连接件、后端陶瓷圈、弹簧垫圈、顶紧螺钉、接线螺钉和导线，安装于铬锆铜基座内的探针孔中，其中探针头可采用钨铜或纯石墨结构。本发明采用集成模块化结构，充分利用靶板空间，可整体拆装，无焊接固定结构，拆卸维修时对靶板无损坏的风险；探针系统结构简单、紧凑，空间分辨率更高；提高了探针系统测量精度。

主权项

1.适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，其特征在于：包括钨铜靶板和多个探针组件构成的集成化模块，其中钨铜靶板包括铬锆铜基座，铬锆铜基座中设有空腔，铬锆铜基座顶部敞口，且敞口处从下至上依次盖合连接有无氧纯铜适应层、钨片，铬锆铜基座的空腔被中间隔座隔分为两个水冷管道，两个水冷管道的后端通过连接管连通，其中一个水冷管道前端连接有进水管，另一个水冷管道前端连接有出水管，从钨片顶面中间位置向下竖直设有多个探针孔，多个探针孔沿水冷管道长边方向排列，每个探针孔分别竖直贯通钨片、无氧纯铜适应层、铬锆铜基座的中间隔座，多个探针组件一一对应安装在探针孔中，探针组件上端从探针孔位于钨片顶面的孔口露出或与钨片顶面齐平，探针组件下端连接有导线，导线从探针孔位于铬锆铜基座底面的孔口穿出；/n所述探 针孔为上细下粗的阶梯孔，其中小孔位于钨片及无氧纯铜适应层中，大孔位于铬锆铜基座 的中间隔座中；/n所述探针组件包括同轴设置在大孔内上端的前端陶瓷圈、同轴设置在大孔内并位于前端陶瓷圈下方的后端陶瓷圈，前、后端陶瓷圈的圈孔均为阶梯通孔，且前端陶瓷圈贴紧阶梯孔中大孔与小孔交界处；大孔内位于前、后端陶瓷圈之间同轴设有铜连接件，铜连接件为阶梯圆柱形，铜连接件上、下端分别对应装配在前端陶瓷圈、后端陶瓷圈的圈孔中，由前、后端陶瓷圈固定准直铜连接件，且铜连接件与铬锆铜基座绝缘隔离；/n铜连接件上、下端端面分别加工有螺纹孔，其中铜连接件上端的螺纹孔同轴螺纹连接有探针头，探针头向上从探针孔位于钨片顶面的孔口穿出，或者探针头上端与钨片顶面齐平；/n所述探针组件还包括同轴设在大孔内下端的紧定螺钉，阶梯孔中大孔内下端成型有内螺纹，顶紧螺钉螺纹装配在大孔内下端，顶紧螺钉中间同轴设有通孔，大孔内位于顶紧螺钉和后端陶瓷圈之间设有弹簧垫圈，由顶紧螺钉、后端陶瓷圈夹持弹簧垫圈；/n铜连接件下端螺纹孔同轴螺纹连接有接线螺钉，接线螺钉下端穿过弹簧垫圈并伸入顶紧螺钉的通孔中，且接线螺钉下端加工为管状延伸部，管状延伸部中连接有导线，导线从顶紧螺钉的通孔下端穿出并最终从铬锆铜基座底面穿出。/n