[发明专利]光学镜片小磨头光学加工中的边缘误差控制方法有效

专利信息
申请号: 201711382152.2 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN108555729B 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 万嵩林;张祥朝;徐敏 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: B24B13/00 分类号: B24B13/00;B24B51/00
代理公司: 31200 上海正旦专利代理有限公司 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于光学零件加工技术领域,具体为一种光学镜片小磨头光学加工中的边缘误差控制方法。具体步骤为:首先测量工件得到面形误差,对表面去除量加上合适的二次项进行调整,减小边缘加工难度;同时将抛光路径抽象为离散的采样点,根据去除函数模型计算每个采样点上的去除函数;然后利用空间变化反卷积算法求解驻留时间,最后依据抛光路径和驻留时间生成控制程序,对工件进行抛光。求解驻留时间时采用随位置而变化的去除函数,可精确控制对边缘部分的去除量;非线性的反卷积算法可以适应移变的去除函数;面形调整技术最大程度地减小了边缘误差的收敛难度。本发明对抛光系统的控制精度要求较低,因此可降低小磨头抛光成本,提高加工效率。
搜索关键词: 去除 边缘误差 驻留 磨头 光学加工 光学镜片 抛光路径 采样点 反卷积 求解 减小 算法 控制程序 光学零件加工 最大程度地 边缘加工 表面去除 测量工件 函数模型 加工效率 精度要求 空间变化 面形误差 抛光成本 抛光系统 时间生成 抛光 二次项 面形 收敛 抽象
【主权项】:
1.一种光学镜片小磨头光学加工中的边缘误差控制方法,其特征在于,具体步骤如下:/n(1)加工前准备:利用面形精密仪器对工件进行面形误差检测,获得工件的面形误差分布数据,记为err;/n(2)对面形误差进行优化调整;在原始面形误差分布数据err上添加一个二次曲面项作为调整项,包括平移、倾斜和离焦项,得到新的面形误差函数,记为err
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