[发明专利]带有栅棱结构的轻型分束器及制作方法

摘要

带有栅棱结构的轻型分束器及制作方法，涉及光谱探测与光谱分析技术领域中的一种光学分束器件，具体涉及一种基于分束窗结构的微小型分束器。解决现有分束器体积、重量大，无法满足仪器微小型化应用需求的问题。由栅棱、分束窗和分束膜组成，栅棱对分束器进行空间分割形成分束窗阵列，分束膜位于分束窗上表面或分束窗和栅棱的上表面，栅棱对分束膜起支撑作用；栅棱横向宽度与纵向宽度相同或不同，分束窗横向宽度与纵向宽度相同或不同，分束窗在横向和纵向的占空比相同；栅棱宽度范围为1nm‑100cm，分束窗宽度范围为1nm‑100cm；栅棱厚度范围为1nm‑10cm，分束窗厚度范围为1nm‑10cm；栅棱的剖面结构为单面矩形、单面平行四边形、单面梯形、双面矩形、双面平行四边形或双面梯形。

主权项

带有栅棱结构的轻型分束器，其特征是，由栅棱、分束窗和分束膜组成，所述栅棱对分束器进行空间分割形成分束窗阵列，分束膜位于分束窗上表面或分束窗和栅棱的上表面，栅棱对分束膜起支撑作用；所述栅棱宽度范围为1nm‑100cm，分束窗宽度范围为1nm‑100cm；栅棱厚度范围为1nm‑100cm，分束窗厚度范围为1nm‑100cm；所述栅棱的剖面结构为单面矩形、单面平行四边形、单面梯形、双面矩形、双面平行四边形或双面梯形。