[发明专利]离子源及质谱仪

摘要

本发明涉及一种离子源，包括引出极板、第一绝缘件、第一接地板、第一套筒、离子聚焦模块、第二接地板、连接件、反射镜及偏转模块。引出极板通过第一绝缘件与第一接地板相连。第一套筒一端与第一接地板相连，第一套筒另一端与离子聚焦模块相连。所述第二接地板与离子聚焦模块之间具有间隔，第二接地板通过连接件与离子聚焦模块相连。反射镜设置在第二接地板上。偏转模块设置在第二接地板上。上述的离子源，由于引出极板、第一绝缘件、第一接地板、第一套筒、离子聚焦模块、反射镜及偏转模块均组装成一个整体，并非如传统的离子源是相互独立的设计，因此能够便于在质谱仪上进行组装更换操作。

主权项

一种离子源，其特征在于，包括：引出极板、第一绝缘件、第一接地板，所述引出极板通过所述第一绝缘件与所述第一接地板相连，所述引出极板设有引出孔，所述第一接地板设有与所述引出孔相应的第一通孔；第一套筒、离子聚焦模块，所述第一套筒一端与所述第一接地板相连，所述第一套筒另一端与所述离子聚焦模块相连，所述第一套筒的通孔与所述引出孔相应设置；第二接地板、连接件，所述第二接地板设有与所述引出孔相应的第二通孔，所述第二接地板与所述离子聚焦模块之间具有间隔，所述第二接地板通过所述连接件与所述离子聚焦模块相连；反射镜，所述反射镜设置在所述第二接地板上，所述反射镜用于将外部光路通过所述离子聚焦模块、所述第一套筒的通孔、所述第一通孔、所述引出孔反射至样品靶上；偏转模块，所述偏转模块设置在所述第二接地板上。