[发明专利]一种MWT电池激光开孔及除渣方法及设备在审
申请号: | 201711333963.3 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN108568606A | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 李志刚;余建 | 申请(专利权)人: | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/00;B23K26/70;H01L31/18;H01L31/04 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人: | 沈小川 |
地址: | 430223 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于激光加工技术领域,具体涉及一种MWT电池激光开孔及除渣方法及设备。本发明在激光开孔的周围进行小范围的激光除渣,旨在去除孔洞附近的难以采用酸碱腐蚀而去除的热熔渣,同时对孔内进行干式的预清洗。本发明的设备包括激光加工模组,加工平台模组和抽尘模组。本发明的除渣过程,紧跟着激光开孔工序进行,此时,硅片和至熔渣具有一定的温度而更加容易去除,而且,也不会产生二次加热产生的加工伤害,减少碎片率。 | ||
搜索关键词: | 激光开孔 除渣 模组 去除 电池 孔洞 激光加工技术 二次加热 激光加工 加工平台 酸碱腐蚀 热熔渣 碎片率 预清洗 硅片 抽尘 对孔 干式 熔渣 激光 伤害 加工 | ||
【主权项】:
1.一种MWT电池激光开孔及除渣方法,包括以下步骤:步骤一、激光开孔,开孔方法为轮廓成型法;步骤二、激光除渣,一个开孔加工完毕后,立即对开孔外缘的圆环状除渣区域进行激光除渣,除渣区域的外圆和内圆半径之差为开孔半径的10~20%。
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