[发明专利]一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法在审

专利信息
申请号: 201711330659.3 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN107841725A 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 张仰平;王贝;刘锐;程明;张超群;葛治亮 申请(专利权)人: 中国建材国际工程集团有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/35
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 代理人: 韩双宏
地址: 200063 上海市普*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法,在利用本发明的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统为镀膜作业建立真空环境时,抽真空装置对真空罐进行抽真空而使得真空罐储备真空,在需要对进料腔室抽真空时,抽真空装置对进料腔室进行抽真空的同时,真空罐与进料腔室连通而吸入进料腔室中的气体,从而加快进料腔室的气压降低的速度;在进料腔室与真空罐之间的气压较为接近时,真空罐与进料腔室之间的第二截止阀关闭,抽真空装置仅对进料腔室进行抽真空,从而使得进料腔室的真空度迅速达到要求。
搜索关键词: 一种 用于 生产 太阳能 镀膜 玻璃 真空 系统 及其 作业 方法
【主权项】:
一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统,其特征是,包括进料腔室(1)和缓冲腔室(4),进料腔室(1)具有进料门阀(2),进料腔室(1)与缓冲腔室(4)之间设有隔离门阀(3);进料腔室(1)上连接有第一连接管(8)和第二连接管(9),第一连接管(8)上连接有抽真空装置和第一截止阀(14),第一截止阀(14)位于抽真空装置与进料腔室(1)之间,第二连接管(9)上连接有真空罐(5)和第二截止阀(15),第二截止阀(15)位于进料腔室(1)与真空罐(5)之间,抽真空装置与真空罐(5)连接有第三连接管(10),第三连接管(10)上设有第三截止阀(16);所述第一连接管(8)上连接有第一真空计(11),第一真空计(11)位于第一截止阀(14)和抽真空装置之间,所述进料腔室(1)上连接有第二真空计(12),所述真空罐(5)上连接有第三真空计(13)。
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