[发明专利]防止探针卡烧针的方法有效
| 申请号： | 201711326642.0 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108226750B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 朱渊源 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/52;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止探针卡烧针的方法，在对样品进行失效分析的测试过程中，进行如下步骤：第1步，对样品进行开短路测量；第2步，进行电源短路预测量，判断电源短路预测量的失效情况；第3步，进行电源短路测量，并判断电源短路测量的失效情况；第4步，进行上电功能测试。本发明所述的防止探针卡烧针的方法，在常规的失效分析方法中，增加电源短路预测量以及电源短路测量步骤，将有短路特征的芯片首先筛选出来，后续测试避开这些短路的芯片，能有效防止探针卡烧针。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 探针 卡烧针 方法 | ||
【主权项】：
1.一种防止探针卡烧针的方法，其特征在于：在对样品进行失效分析的测试过程中，进行如下步骤：第1步，对样品进行开短路测量；第2步，进行电源短路预测量，判断电源短路预测量的失效情况；第3步，进行电源短路测量，并判断电源短路测量的失效情况；第4步，进行上电功能测试。
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