[发明专利]一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达在审
| 申请号： | 201711248354.8 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN109870825A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 佟建;屈志巍;陈佳 | 申请（专利权）人： | 北京万集科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;李相雨 |
| 地址： | 100085 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达，所述基于MEMS振镜的准直系统，包括：激光发射单元，用于发射调制激光光束；前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。本发明提供的基于MEMS振镜的准直系统，能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角和系统体积，同时使得中心视场和边缘视场的测距能力均匀一致。 | ||
| 搜索关键词： | 准直系统 光束整形单元 激光发射单元 激光雷达 扫描单元 准直单元 整形 后置 前置 反射 能量耦合效率 偏转 光束发散角 谐振 边缘光束 边缘视场 测距能力 调制激光 二次整形 均匀一致 视场扫描 中心光束 中心视场 发射 物平面 光程 减小 入瞳 相等 激光 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS振镜的准直系统，其特征在于，包括：激光发射单元，用于发射调制激光光束；前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。
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