[发明专利]一种延长A-面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法有效
| 申请号： | 201711221338.X | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108007982B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 杜志伟;王军强 | 申请（专利权）人： | 河北宇天昊远纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 12210 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 付长杰 |
| 地址： | 052160 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种延长A‑面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法，该方法的过程是：1）在A‑面蓝宝石进行化学机械抛光过程中，取A‑面蓝宝石窗口抛光液，并用Zeta电位分析仪测量电位，监测A‑面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位变化情况；2）当监测到A‑面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位绝对值不大于18mv时，直接向正在使用的A‑面蓝宝石窗口抛光液中添加非离子表面活性剂，当添加至A‑面蓝宝石窗口抛光液Zeta电位绝对值不小于25.0mv时停止添加，然后每隔0.5‑1.5小时再次监测Zeta电位，重复上述过程；所述非离子表面活性剂为加入后能提高抛光液Zeta电位，且不会与抛光液发生副反应的脂肪酸甲酯乙氧基化物、十二烷基聚乙二醇羧酸盐、脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种或几种混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 蓝宝石 窗口 抛光 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
1.一种延长A-面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法，该方法的过程是：/n1）在A-面蓝宝石进行化学机械抛光之前，将A-面蓝宝石窗口抛光液加入到抛光液容器中,在A-面蓝宝石进行化学机械抛光过程中，取出A-面蓝宝石窗口抛光液，并用Zeta电位分析仪测量电位，监测A-面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位变化情况；/n2）当监测到A-面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位绝对值不大于18mv时，直接向抛光过程中的A-面蓝宝石窗口抛光液中添加非离子表面活性剂，当添加至A-面蓝宝石窗口抛光液Zeta电位绝对值不小于25.0mv时停止添加，然后每隔0.5-1.5小时再次监测Zeta电位，重复上述过程；所述非离子表面活性剂为加入后能提高抛光液Zeta电位，且不会与抛光液发生副反应的脂肪酸甲酯乙氧基化物、十二烷基聚乙二醇羧酸盐中的一种或几种混合物；/n向A-面蓝宝石窗口抛光液中添加非离子表面活性剂的次数为2-5次。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北宇天昊远纳米材料有限公司，未经河北宇天昊远纳米材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711221338.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种化学实验室用仪器烘干装置
- 下一篇：一种制备高岭土生产线
