[发明专利]一种双层复用型三角形折叠梁质量块谐振系统及其痕量检测方法

摘要

本发明公开了一种双层复用型三角形折叠梁质量块谐振系统及检测方法，系统包括衬底以及对称置于衬底上、下表面结构相同的第一和第二谐振测试系统；第一和第二谐振测试系统均包括位于衬底上的基座、支撑于基座上的上极板以及位于衬底表面中央的下极板；上极板包括三角形质量块和与其连接的至少两根股梁；三角形质量块与股梁连接点之间加入节胫，股梁的另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻，并与基座连接；下极板和三角形折叠梁质量块之间存在空气间隙；驱动电压一端与第一和第二谐振测试系统的下极板连接，另一端分别与第一和第二三角形折叠梁质量块连接。本发明利用外接电路检测两个输出信号，排除温度、湿度变化对频率检测的影响，提高测量精度。

主权项

1.一种双层复用型三角形折叠梁质量块谐振系统，其特征在于：包括衬底(1)、对称置于衬底上、下表面的第一谐振测试系统和第二谐振测试系统、驱动电压(4)以及外接电路(5)；所述第一谐振测试系统和第二谐振测试系统结构相同，均包括位于衬底之上的基座(21)或(31)、支撑于基座上的上极板以及位于衬底表面中央的下极板(24)或(34)；基座设于衬底表面的周围，上极板包括三角形质量块(22)或(32)和与其连接的至少两根股梁(23)或(33)；三角形质量块由其周围的股梁支撑，水平设置，其与股梁连接点之间加入节胫；股梁的另一端分别扩散横向和纵向型压阻电阻(25)或(35)，并与基座连接；衬底、基座、三角形质量块以及股梁形成一个空间，下极板和位于谐振测试系统中间的三角形折叠梁质量块之间存在空气间隙；驱动电压(4)一端与第一谐振测试系统和第二谐振测试系统的下极板连接，另一端与第一谐振测试系统的第一三角形折叠梁质量块和第二谐振测试系统的第二三角形折叠梁质量块连接，形成两个输出回路；外接电路(5)与和其连接的第一谐振测试系统和第二谐振测试系统的压阻电阻形成惠斯通全桥。