[发明专利]一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口在审
| 申请号： | 201711196554.3 | 申请日： | 2017-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN107946168A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 孙克强;丁志国;陈万锁;江波;山拓 | 申请（专利权）人： | 江苏衡昇仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;H01J49/02;G01N27/62 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，包括点火腔体，所述点火腔体内腔的后侧固定连接有第一密封圈和第二密封圈，所述点火腔体内腔的底部分别固定连接有滑轨平台和气缸，所述点火腔体内腔后侧的顶部设置有低真空腔体，所述点火腔体的内腔设置有水冷盘。本发明通过设置点火腔体、第一密封圈、第二密封圈、滑轨平台、气缸、水冷盘和低真空腔体的配合使用，解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口密封效果差，不能快速实现正常气压与低真空的转换，不便于安装维护的问题，该电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，具备密封效果好，可快速实现正常气压与低真空的转换，便于安装维护的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 耦合 等离子体 质谱仪 真空 接口 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，包括点火腔体（1），其特征在于：所述点火腔体（1）内腔的后侧固定连接有第一密封圈（2）和第二密封圈（3），所述点火腔体（1）内腔的底部分别固定连接有滑轨平台（4）和气缸（5），所述点火腔体（1）内腔后侧的顶部设置有低真空腔体（7），所述点火腔体（1）的内腔设置有水冷盘（6）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏衡昇仪器有限公司，未经江苏衡昇仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711196554.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
