[发明专利]一种光学镜面抛光设备

摘要

本发明公开了一种光学镜面抛光设备，包括机体、柔索驱动装置、动平台、镜面抛光装置、主动支撑装置。动平台提升装置固定在机架上，通过柔索驱动装置提拉动平台；镜面抛光平台安装在动平台上，通过两个电机和三条同步带传动，使得镜面抛光平台能够在动平台上实现两个自由度的平动；所述离子束发射器通过三个转动副、一个定长杆、两个电动推杆和三个球铰与镜面抛光平台连接，能够实现离子束发射器的两个自由度的转动；采用全浮动支撑的主动支撑装置固定在机架上。本发明将镜面主动支撑系统应用在光学加工中，能够有效降低加工难度、缩短加工周期。本发明的混联抛光机床能够实现较大的加工空间、较大的刚度和较小的累积误差。

主权项

1.一种光学镜面抛光设备，其特征在于：包括机体、主动支撑装置、四个柔索驱动装置、动平台和镜面抛光设备；所述机体包括底部平台(1)、四个支撑柱(2)和一个顶部平台(3)，四个支撑柱(2)支撑在底部平台(1)和顶部平台(3)的四个角之间，形成以Z轴为竖直高度方向的四棱柱状加工空间；所述主动支撑装置设置在四棱柱状加工空间内，并与底部平台(1)固定，待抛光镜面(22)放置在主动支撑装置上，四棱柱状加工空间、主动支撑装置和待抛光镜面(22)的竖直中心轴线在一条直线上；所述四个柔索驱动装置安装在顶部平台(3)的四个角上，通过收放四根柔索(25)控制动平台在Z轴方向上的平动；所述动平台包括Z轴滑台(13)，Z轴滑台(13)包括两个Z轴滑块(21)，每个Z轴滑块(21)上安装一根传动轴A(35)，两根传动轴A(35)位于同一水平面上且位置平行，并通过两根Y轴同步带(14)连接，其中一个Z轴滑块(21)上设置有Y轴伺服电机(32)、Y轴减速器(33)和同步带轮A(34)，通过同步带轮A(34)驱动其中一根传动轴A(35)转动，通过Y轴同步带(14)带动另一根传动轴A(35)同步转动；两个Z轴滑块(21)之间通过两根Y轴导杆(15)固定，两根Y轴导杆(15)位于同一水平面上且位置平行，每根Y轴导杆(15)上安装有一个Y轴滑台(31)，两个Y轴滑台(31)分别与两根Y轴同步带(14)固定连接，通过Y轴同步带(14)带动Y轴滑台(31)同步移动；每个Y轴滑台(31)上安装一根传动轴B，两根传动轴B位于同一水平面上且位置平行，并通过X轴同步带连接，其中一个Y轴滑台(31)上设置有X轴伺服电机(17)、X轴减速器(18)和同步带轮B，通过同步带轮B驱动其中一根传动轴B转动，通过X轴同步带带动另一根传动轴B同步转动；两个Y轴滑台(31)之间通过两根X轴导杆(20)固定，两个X轴导杆(20)位于同一水平面上且位置平行，每根X轴导杆(20)上安装一个X轴滑块；所述镜面抛光设备包括离子束发射器(36)、镜面抛光平台(19)和调整机构，离子束发射器(36)通过调整机构安装在镜面抛光平台(19)的下方，通过调整机构调节离子束发射器(36)的发射角度；镜面抛光平台(19)的上表面与两个X轴滑块固定，同时与X轴同步带固定连接，通过X轴同步带带动镜面抛光平台(19)同步移动。