[发明专利]高精度离子能量分析仪在审
| 申请号： | 201711168114.7 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108022824A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 程健;陈自强;田春东;林伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J49/48 | 分类号： | H01J49/48;H01J37/32;H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;郑哲 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度离子能量分析仪，包括：传感器探头、机箱与上位机；其中：所述传感器探头设有微弱电流检测电路，用于在机箱中系统控制单元的控制下进行电流检测，并将检测到的微弱电流信号转换为标准电流信号；机箱中设有系统控制单元、数据采集单元与扫描电压和偏压单元；所述系统控制单元受控于上位机；所述扫描电压和偏压单元在系统控制单元的控制下对传感器探头的扫描测量模式及相关参数进行设置，所述数据采集单元在系统控制单元的控制下进行工作状态参数的设定，以及接收微弱电流检测电路输出的标准电流信号并进行处理，再将处理后的数字信号经系统控制单元传输至上位机。该离子能量分析仪可以提高等离子体测量结果的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 离子 能量 分析 | ||
【主权项】：
1.一种高精度离子能量分析仪，其特征在于，包括：传感器探头、机箱与上位机；其中：所述传感器探头设有微弱电流检测电路，用于在机箱中系统控制单元的控制下进行电流检测，并将检测到的微弱电流信号转换为标准电流信号；机箱中设有系统控制单元、数据采集单元与扫描电压和偏压单元；所述系统控制单元受控于上位机；所述扫描电压和偏压单元在系统控制单元的控制下对传感器探头的扫描测量模式及相关参数进行设置，所述数据采集单元在系统控制单元的控制下进行工作状态参数的设定，以及接收微弱电流检测电路输出的标准电流信号并进行处理，再将处理后的数字信号经系统控制单元传输至上位机。
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