[发明专利]一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法有效
| 申请号： | 201711159239.3 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107976617B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 肖和平;宗远 | 申请（专利权）人： | 扬州乾照光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 225101 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法中，在测量一行LED单元的第一边缘区域的非第1颗LED单元时，以其之前的至少一颗LED单元的积分时间作为参考，而在测量第二边缘的LED单元时直接基于其和参数稳定的中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，使得测试时积分时间从边缘到中间形成连续变化，使得边缘区域的LED单元的光谱能量分布和中间区域的LED单元的光谱的能量分布一致，呈现较好的光谱特性，有效的解决了现有技术中光谱能量在测量过程中的波动问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 光谱 能量 分布 led 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种稳定光谱能量分布的LED晶圆测试方法，其特征在于，所述测试方法包括：提供一待测试的LED晶圆；所述LED晶圆具有点阵排布的LED阵列；所述LED阵列具有多行LED单元；每行LED单元在第一方向上依次分为第一边缘区域、中心区域以及第二边缘区域；所述第一边缘区域、所述中间区域以及所述第二边缘区域均具有多颗LED单元；逐行对所述LED阵列中的LED单元进行测试；对于任一行LED单元，在所述第一方向上逐一测试该行中的LED单元，测试第i颗LED单元时，i大于1，如果其位于第一边缘区域，基于其前方相邻的至少一颗LED单元的测试结果计算其积分时间，用于计算其出射光的波长，如果其位于第二边缘区，基于其与位于所述中间区域的LED单元的INT值比例，计算其积分时间，用于计算其出射光的波长；其中，所述INT值为LED单元的光谱能量经过积分后累计的强度值。
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