[发明专利]一种多功能的曝光机基台的清洗装置在审
申请号: | 201711154256.8 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN107748483A | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 庞超群;陶薇 | 申请(专利权)人: | 张家港奇点光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙)32273 | 代理人: | 曹成俊 |
地址: | 215636 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种多功能的曝光机基台的清洗装置,包括基台本体,安装板,清洗管装置,清扫刷装置,风干机装置,排水槽,排水管,HEPA滤网和活性炭滤网,所述的安装板焊接在基台本体的右侧;所述的清洗管装置安装在基台本体的上部右侧。本发明出风管安装在风机固定框的左侧,配合风机本体的设置,有利于方便对清洗后的基台本体进行风干,防止灰尘吸附在基台本体的表面上;齿轮与齿条啮合,有利于方便带动驱动电机在滑轨上左右移动和,配合清洗刷方便对基台本体的表面进行清扫;储水箱的前表面镶嵌有观察窗,有利于方便观察储水箱内的水位高度;HEPA滤网和活性炭滤网分别安装在排水槽与排水管的连接处,有利于方便对废水进行过滤。 | ||
搜索关键词: | 一种 多功能 曝光 机基台 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,该多功能的曝光机基台的清洗装置,包括基台本体(1),安装板(2),清洗管装置(3),清扫刷装置(4),风干机装置(5),排水槽(6),排水管(7),HEPA滤网(8)和活性炭滤网(9),所述的安装板(2)焊接在基台本体(1)的右侧;所述的清洗管装置(3)安装在基台本体(1)的上部右侧;所述的清扫刷装置(4)安装在基台本体(1)的上部左侧;所述的风干机装置(5)安装在基台本体(1)的右侧;所述的排水槽(6)开设在基台本体(1)的下部;所述的排水管(7)插接在排水槽(6)的左侧;所述的清扫刷装置(4)包括滑轨(41),齿条(42),传动电机(43),齿轮(44),驱动电机(45),旋转轴(46)和清洗刷(47),所述的齿条(42)焊接在滑轨(41)的内侧下部;所述的传动电机(43)设置在滑轨(41)内;所述的齿轮(44)焊接在传动电机(43)的输出轴上;所述的驱动电机(45)螺栓安装在传动电机(43)的下部;所述的旋转轴(46)纵向安装在驱动电机(45)的输出轴上;所述的清洗刷(47)安装在旋转轴(46)的外侧。
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