[发明专利]一种双振镜FPC紫外激光切割设备

摘要

本发明公开了一种双振镜FPC紫外激光切割设备，包括安装在固定龙门花岗岩底座上的上轴直线电机运动平台、下轴直线电机运行平台一和下轴直线电机运行平台二，上轴直线电机运动平台、下轴直线电机运行平台一和下轴直线电机运行平台二在其长度方向上分别安装有高精度光栅定位系统一、高精度光栅定位系统二和高精度光栅定位系统三，下轴直线电机运行平台一和下轴直线电机运行平台二上分别安装有受其驱动运行的真空吸附平台一和真空吸附平台二，本发明的有益效果是实现了双振镜同步加工的功能，为以后实现更多振镜同步加工打下了基础；使FPC激光切割效率翻倍，节约了大量的模具成本，减少了资源的浪费，缩短了FPC生产企业交货的周期。

主权项

一种双振镜FPC紫外激光切割设备，包括安装在固定龙门花岗岩底座(1)上的上轴直线电机运动平台(2)、下轴直线电机运行平台一(9)和下轴直线电机运行平台二(10)，其特征在于，上轴直线电机运动平台(2)、下轴直线电机运行平台一(9)和下轴直线电机运行平台二(10)在其长度方向上分别安装有高精度光栅定位系统一(11)、高精度光栅定位系统二(12)和高精度光栅定位系统三(13)，下轴直线电机运行平台一(9)和下轴直线电机运行平台二(10)上分别安装有受其驱动运行的真空吸附平台一(18)和真空吸附平台二(19)，用于对FPC电路板进行固定，真空吸附平台一(18)和真空吸附平台二(19)位置平行，上轴直线电机运动平台(2)处于真空吸附平台一(18)和真空吸附平台二(19)的正上方，所述上轴直线电机运动平台(2)安装有受其驱动的高速扫描振镜一(3)和高速扫描振镜二(4)，高速扫描振镜一(3)和高速扫描振镜二(4)上分别安装有视觉定位系统一(5)和视觉定位系统二(6)，用于对真空吸附平台一(18)和真空吸附平台二(19)上的FPC电路板进行CCD视觉定位；所述真空吸附平台一(18)和真空吸附平台二(19)的外侧位置分别设有高功率紫外激光器一(7)和高功率紫外激光器二(8)，高功率紫外激光器一(7)和高功率紫外激光器二(8)均安装在固定龙门花岗岩底座(1)上，高功率紫外激光器一(7)产生的紫外激光经紫外反射镜一(22)和紫外反射镜二(23)的反射射入到高速扫描振镜一(3)内，高功率紫外激光器二(8)产生的紫外激光经紫外反射镜三(24)和紫外反射镜四(25)的反射射入到高速扫描振镜二(4)内，对处于真空吸附平台二(19)上的FPC电路板进行切割。