[发明专利]一种柔性电子皮肤传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201711133399.0 申请日: 2017-11-13
公开(公告)号: CN107778480B 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 朱玲;房菲儿;张静;王威 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: C08G73/02 分类号: C08G73/02;B01J13/14;C08J7/14;C08J9/26;C08J5/18;G01L5/00;C08L25/06;C08L79/02
代理公司: 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙) 44357 代理人: 赵文曲
地址: 518000 广东省深圳市福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种柔性电子皮肤传感器及其制备方法,其中,柔性电子皮肤传感器包括若干压力传感单元;压力传感单元由两片柔性且可伸缩的超薄PDMS膜、分别贴附于两片超薄PDMS膜之间的两片电极,以及设置于两片电极之间的复合压力传感膜组成;复合压力传感膜由若干聚苯胺中空纳米球和用于连接相邻聚苯胺中空纳米球的多壁碳纳米管组成;各压力传感单元利用等离子体处理机,并采用电极像素处理以形成呈设定面积的传感器阵列,本发明采用中空结构的复合压力传感膜,具有突出的弹性能力和超低的弹性模量,以使压力传感单元可对各种外界刺激进行有效的放大和转换,压力感应高,温度分辨率高;另外,单个压力传感单元可以很容易地集成传感器阵列,具有良好的传感性能。
搜索关键词: 一种 柔性 电子 皮肤 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种柔性电子皮肤传感器,其特征在于,包括若干压力传感单元;所述压力传感单元由两片柔性且可伸缩的超薄PDMS膜、分别贴附于所述两片超薄PDMS膜之间的两片电极,以及设置于所述两片电极之间的复合压力传感膜组成;所述复合压力传感膜由若干聚苯胺中空纳米球和用于连接相邻聚苯胺中空纳米球的多壁碳纳米管组成;各压力传感单元利用等离子体处理机,并采用电极像素处理以形成呈设定面积的传感器阵列。
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