[发明专利]悬臂式探针卡的探针头结构在审
| 申请号： | 201711131960.1 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108344887A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 黄郑隆 | 申请（专利权）人： | 松翰有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种悬臂式探针卡的探针头结构，由上而下依序包括电路板、粘固层、多根探针以及隔热陶瓷片，该电路板的下表面具有多个电路接点，该隔热陶瓷片具有斜面，且该斜面是面对该电路板，多根探针分布于该斜面上，该探针一端并与相对应的该电路接点接触，该粘固层位于该隔热陶瓷片与该电路板之间，固定着该探针与该隔热陶瓷片的位置；由此，在晶圆高低温度测试作业中，该探针头底层的该隔热陶瓷片能隔絶热能向上传递，维持该探针在测试作业良好的接触状态，避免高低温测试过程产生晶圆探针刮痕时大时小的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 隔热陶瓷片 电路板 探针头 悬臂式探针卡 电路接点 晶圆 粘固 高低温测试 测试作业 过程产生 接触状态 温度测试 下表面 刮痕 传递 | ||
【主权项】：
1.一种悬臂式探针卡的探针头结构，由上而下包括：电路板、粘固层、多根探针以及隔热陶瓷片，该电路板的下表面具有多个电路接点，该隔热陶瓷片具有斜面，且该斜面是面对该电路板，该多根探针分布于该斜面上，每根该探针的一端并与相对应的该电路接点接触，该粘固层位于该隔热陶瓷片与该电路板之间，固定着该探针与该隔热陶瓷片的位置。
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