[发明专利]一种对接触式光刻探针的双铰链夹持结构在审
| 申请号： | 201711130490.7 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107664925A | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 王皓;王蔚涵;褚佳伟;徐芮;吕亦乐 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明针对接触式直写光刻的光刻头(下文称作“探针”)，提出一种双铰链的夹持结构。对比现有单铰链夹持结构，有效削减了探针在安装后自由状态下对理想轴线的位置偏差、探针在光刻胶上接触移动时对理想轴线的最大偏转角。同时，保持了探针在光刻胶起伏表面上垂直接触时所需的轴向柔性适应能力。该结构主要包括上弹性铰链、探针(包括上凸台、中间圆台、下凸台、20μm圆柱尖端)、下弹性铰链、固定套筒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 光刻 探针 铰链 夹持 结构 | ||
【主权项】：
一种对接触式光刻探针的双铰链夹持结构，其特征在于包括上弹性铰链、探针、下弹性铰链、固定套筒。
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