[发明专利]真空吸附平台在审
申请号: | 201711119464.4 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN109773681A | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 陈柏源;林耘纬;王丰翔 | 申请(专利权)人: | 大银微系统股份有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 倪中翔;王淳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种真空吸附平台,它包括一基座;一台件,具有一芯体,多数贯孔状的巢孔分别贯设于芯体上,多数第一连接通道分别配置于各巢孔的孔壁上以连通彼此相邻的该巢孔,一面板贴接于该芯体背向于该基座的一侧,并封闭该巢孔的一端孔口,一背板贴接于该芯体面向于该基座的一侧,并封闭该巢孔的另一端孔口,多数气孔分别贯设于该面板上,且个别地分别与该巢孔连通;以及多数调整件,分设于该台件与该基座间,以改变该台件的不同部位与该基座间的距离。本发明所提供的真空吸附平台,在蜂巢芯体的多数巢孔在径向方向上设有使其彼此相互连通的连接通道,使空气得以在各个巢孔中流动,避免局部的气体流动路径受到阻滞时,影响局部的巢孔内气体向外流动的可能。 | ||
搜索关键词: | 巢孔 芯体 真空吸附平台 连通 连接通道 孔口 气体流动路径 封闭 背板贴 调整件 蜂巢芯 贯孔状 板贴 孔壁 台件 阻滞 分设 流动 配置 | ||
【主权项】:
1.一种真空吸附平台,其特征在于,它包括:一基座;一台件,位于该基座的一侧,具有一芯体,多数贯孔状的巢孔彼此平行地分别贯设于该芯体上,多数的第一连接通道分别配置于各该巢孔的孔壁上以连通彼此相邻的该巢孔,一面板贴接于该芯体背向于该基座的一侧,并封闭该巢孔的一端孔口,一背板贴接于该芯体面向于该基座的一侧,并封闭该巢孔的另一端孔口,多数气孔分别贯设于该面板上,且个别地分别与该巢孔连通;以及多数调整件,分设于该台件与该基座间,以改变该台件的不同部位与该基座间的距离。
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