[发明专利]用于GDMS检测的超高纯铝样品的制备方法及超高纯铝样品杂质分析方法在审
申请号: | 201711094552.3 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN107843478A | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;陈胜洁 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | G01N1/34 | 分类号: | G01N1/34;G01N1/32;G01N1/28 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 李丙林 |
地址: | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于GDMS检测的超高纯铝样品的制备方法及超高纯铝样品杂质分析方法,涉及高纯金属成分分析技术领域。超高纯铝样品的制备方法包括以下步骤对待测超高纯铝样品进行超声酸洗,酸洗液主要由硝酸、氢氟酸和水混合而成,硝酸、氢氟酸和水的体积比为1(2~5)(5~8)。本发明缓解了现有方法不适用于超高纯铝样品,Na和Si在制样过程中易引入,造成检测偏高或元素检测值稳定时间长的问题。采用本发明制样方法能有效缓解超高纯铝样品中Na和Si含量易引入的问题,同时能有效去除杂质,有效抑制表面形成氧化层,有效缩短GDMS检测时间,并确保了检测的准确性、稳定性和重复性。 | ||
搜索关键词: | 用于 gdms 检测 高纯 样品 制备 方法 杂质 分析 | ||
【主权项】:
一种用于GDMS检测的超高纯铝样品的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:用酸洗液对待测超高纯铝样品进行超声酸洗,酸洗液主要由硝酸、氢氟酸和水混合而成,硝酸、氢氟酸和水的体积比为1:(2~5):(5~8)。
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