[发明专利]SU8光刻胶中冠状动脉血管支架倒模模具的飞秒激光微加工方法

摘要

本发明公开了一种SU8光刻胶中冠状动脉血管支架倒模模具的飞秒激光微加工方法，该方法利用飞秒激光时空聚焦，通过单个物镜实现了各向同性加工分辨率的任意操控，在SU8光刻胶上聚合，方便高效地加工得到百微米分辨率内的三维模型。将在计算机中设计好的冠状动脉血管支架模型进行分层，利用双光子聚合直写加工，即可得到成品。本发明采用了时空聚焦双光子聚合加工方式，分辨率在百微米内连续可调，利用此方法聚合形成的支架结构，具备加工效率高、成本低的特点。该方法对医疗器械模具的设计与精密制造，及其在临床医学中的应用有着重要的意义。

主权项

一种SU8光刻胶中冠状动脉血管支架倒模模具的飞秒激光微加工方法，其特征在于，该方法包括以下具体步骤：步骤1：在光路中依次放置飞秒激光器、光阑、第一可变衰减片、凸透镜、凹透镜、第二可变衰减片、第一光栅、第二光栅、聚焦物镜、SU8光刻胶、三维平移台、CCD；步骤2：在电脑中利用3ds Max设计冠状动脉血管支架的三维模型；步骤3：将SU8光刻胶放在容器内，固定在三维平移台11之上，并调整三维平移台，使飞秒激光脉冲聚焦于SU8光刻胶内部；步骤4：以激光传输相反方向为z方向，容器的宽边和长边分别为x方向和y方向，经过整形、滤波的飞秒激光时空聚焦脉冲通过聚焦物镜聚焦于光刻胶内部，诱导在激光焦斑区域形成一个x‑y平面上的聚焦点，以此为起始位置，根据模型分层后的结构，任意取一层，通过电脑驱动三维平移台11扫描出相应的点、线，即在SU8光刻胶内部加工成型一个截面，作为周期性结构的起始层；步骤5：驱动三维平移台改变SU8光刻胶的位置，使飞秒激光时空聚焦脉冲在SU8光刻胶内部的焦点沿z方向移动, 根据模型分层后的结构，向上取一层，通过电脑驱动三维平移台11扫描出相应的点、线，即在SU8光刻胶内部加工再成型一个截面，作为周期性结构的第二层；步骤6：重复步骤5，直至加工完所有的截面分层；加工完成形成具有周期性结构的冠状动脉血管支架的三维模型；步骤7：后期烘烤飞秒激光直写过的SU8光刻胶，得到冠状动脉血管支架倒模模具。