[发明专利]一种集成受力传感器在审
申请号: | 201711080303.9 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN107741287A | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 刘昶 | 申请(专利权)人: | 佛山融芯智感科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/02 | 分类号: | G01L1/02 |
代理公司: | 佛山东平知识产权事务所(普通合伙)44307 | 代理人: | 龙孟华 |
地址: | 528251 广东省佛山市南海区桂城街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种集成受力传感器,其特征在于,包括基体,设置在基体上的柔性通腔和覆盖在柔性通腔上的柔性皮肤,在基体上设有凸起,所述柔性通腔在凸起作用下被分割成两段,柔性通腔的一端连接有用来测量柔性通腔内部压力的压力传感器,柔性通腔的另一端与外界空气连通。本发明中,由于待测力通过改变物体形状而改变气压,通过检测气压来检测待测力的大小,并且,过载的压力可通过压力释放机构释放,不会影响到压力传感器的薄膜安全,即使超过静压过载100倍也不会造成薄膜的永久损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 传感器 | ||
【主权项】:
一种集成受力传感器,其特征在于,包括:基体,设置在基体上的柔性通腔和覆盖在柔性通腔上的柔性皮肤,在基体上设有凸起,所述柔性通腔在凸起作用下被分割成两段,柔性通腔的一端连接有用来测量柔性通腔内部压力的压力传感器,柔性通腔的另一端与外界空气连通。
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