[发明专利]光谱稳定性优化装置、系统和方法有效
| 申请号： | 201711079175.6 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107860713B | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 曾庆栋;宣文静;余华清;聂长江;卢金军;赵恒;刘会;李钱光 | 申请（专利权）人： | 湖北工程学院 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/73 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 宋南 |
| 地址： | 432000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种光谱稳定性优化装置、系统和方法，该光谱稳定性优化装置应用于包括激光器和载物台的LIBS系统中，所述光谱稳定性优化装置包括光束整形器；所述光束整形器设置于所述激光器与所述载物台之间，且所述光束整形器与所述载物台和所述激光器共线；其中，所述光束整形器用于对由所述激光器发射的高斯光束进行整形，并使得整形后形成的均匀平顶光束入射至所述载物台上的样品靶材。本发明通过对光谱稳定性优化装置和系统的巧妙设计，能够通过调节光束整形器的状态获得稳定的等离子体，且本发明实现简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 稳定性 优化 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种光谱稳定性优化装置，应用于包括激光器和载物台的LIBS系统，其特征在于，所述光谱稳定性优化装置包括光束整形器；所述光束整形器设置于所述激光器与所述载物台之间，且所述光束整形器与所述载物台和所述激光器共线；其中，所述光束整形器用于对由所述激光器发射的高斯光束进行整形，并使得整形后形成的均匀平顶光束入射至所述载物台上的样品靶材上。
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