[发明专利]一种倒置式高速电化学原子力显微镜

摘要

本发明公开了一种倒置式高速电化学原子力显微镜，属于扫描探针显微技术领域。本发明将AFM探针设置在液体池内，针尖朝上，液体池底部设置透明玻璃窗，将激光器、反射棱镜和位置灵敏探测器设置在液体池的下方，将样品台固定在高速扫描器上，所述的高速扫描器固定在自动逼近装置上，三者均位于所述的液体池的上方；工作电极安装在样品台上，参比电极通过螺钉固定在电化学液体池的侧面，环形对电极安装在电化学液体池的底部。本发明采用倒置式液体池不易渗漏，容易更换样品；同时避免了在正置结构中由于液体池要固定在高速扫描器上，对高速扫描器动态性能造成的不利影响。

主权项

一种倒置式高速电化学原子力显微镜，其特征在于：包括AFM探针、激光器、反射棱镜、位置灵敏探测器、液体池、玻璃窗、工作电极、参比电极、环形对电极、样品台、高速扫描器和自动逼近装置；其中，所述的AFM探针位于液体池内，针尖朝上，液体池底部设置透明玻璃窗，所述的激光器、反射棱镜和位置灵敏探测器设置在液体池的下方，所述的样品台固定在高速扫描器上，所述的高速扫描器固定在自动逼近装置上，三者均位于所述的液体池的上方；所述工作电极安装在样品台上，所述参比电极通过螺钉固定在电化学液体池的侧面，所述环形对电极安装在电化学液体池的底部。