[发明专利]抛光液供给装置在审

专利信息
申请号: 201711019956.6 申请日: 2017-10-26
公开(公告)号: CN109702653A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 陈新伟;梅术凯;陈林;凌科;杜庭波;刘谊;贺龙杰;熊肖祥;秦路梅 申请(专利权)人: 富鼎电子科技(嘉善)有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 谢蓓;蒋志行
地址: 314102 浙江省嘉兴市嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提出一种抛光液供给装置,其包括储液容器及与所述储液容器连接的加液管,所述储液容器用于储存抛光液。所述抛光液供给装置还包括连接块、压缩空气气管及喷头,所述加液管及所述压缩空气气管均连接在所述连接块的一侧,所述喷头的一端安装于所述连接块上,且所述喷头与所述加液管、所述压缩空气气管均连通,所述压缩空气气管用于输入压缩空气,使所述加液管中形成负压,从而所述加液管将所述储液容器中的所述抛光液抽取到所述喷头中,并由所述喷头喷洒所述抛光液。上述抛光液供给装置的加液管不易堵塞,提升了抛光制程的稳定性。
搜索关键词: 加液管 喷头 抛光液供给装置 压缩空气气管 储液容器 抛光液 抛光制程 压缩空气 负压 连通 喷洒 抽取 储存 堵塞
【主权项】:
1.一种抛光液供给装置,其包括储液容器及与所述储液容器连接的加液管,所述储液容器用于储存抛光液,其特征在于,所述抛光液供给装置还包括连接块、压缩空气气管及喷头,所述加液管及所述压缩空气气管均连接在所述连接块的一侧,所述喷头的一端安装于所述连接块上,且所述喷头与所述加液管、所述压缩空气气管均连通,所述压缩空气气管用于输入压缩空气,使所述加液管中形成负压,从而所述加液管将所述储液容器中的所述抛光液抽取到所述喷头中,并由所述喷头喷洒所述抛光液。
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