[发明专利]一种去除玻璃蚀刻残留物的方法在审
| 申请号： | 201711009958.7 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107737764A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 赵伟;蔡良照;黄泽魁;郑志智 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 邓义华,廖苑滨 |
| 地址： | 516600 *** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种去除玻璃蚀刻残留物的方法，包括如下步骤步骤1玻璃蚀刻完成后将蚀刻液排空，其中蚀刻液中含有氢氟酸；步骤2用分解剂浸泡玻璃蚀刻器具，直至沉积在玻璃蚀刻器具上的残留物95%以上溶解，所述分解剂为含硫酸铝的溶液。本发明可有效溶解玻璃蚀刻后的残留物，清除率达99%以上，并减少了玻璃残渣清理时人力物力的投入，同时保证了员工身体健康，提高了玻璃蚀刻的均匀性，蚀刻玻璃质量得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 玻璃 蚀刻 残留物 方法 | ||
【主权项】：
一种去除玻璃蚀刻残留物的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：玻璃蚀刻完成后将蚀刻液排空，其中蚀刻液中含有氢氟酸；步骤2：用分解剂浸泡玻璃蚀刻器具，直至沉积在玻璃蚀刻器具上的残留物95%以上溶解，所述分解剂为含硫酸铝的溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信利半导体有限公司，未经信利半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711009958.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
