[发明专利]一种玻璃基板清洗装置

摘要

本发明提供了一种玻璃基板清洗装置，包括至少一腔室，每一腔室内均设有传送机构及喷淋机构；每一腔室内还设有至少一位于传送机构上方的滚轮洁净机构，且每一滚轮洁净机构均包括喷洗管、驱动喷洗管旋转的驱动器、充有高速流动清洗液的高压管道以及将喷洗管和高压管道连接的密封套管接头；喷洗管的一端形成为密封端并安装有驱动器，另一端与密封套管接头的一端形成密封连接并形成绕喷洗管中心轴线旋转配合，且喷洗管在两端之间的外壁上开设有多个用于喷射清洗液的通孔；密封套管接头的另一端与高压管道形成密封连接。实施本发明，可以克服现有的玻璃基板清洗装置长期使用后存在的不足之处，并实现玻璃基板及本身自动清洗，省时省力，还能保证清洗效果。

主权项

一种玻璃基板清洗装置，包括至少一腔室（1），且每一腔室（1）内均设有用于传送玻璃基板的传送机构以及设置于所述传送机构上方并用于清洗所述玻璃基板的喷淋机构；其特征在于，所述每一腔室（1）内还设有至少一位于所述传送机构上方的滚轮洁净机构（2），且每一滚轮洁净机构（2）均包括喷洗管（21）、驱动所述喷洗管（21）旋转的驱动器（22）、内部充满有高速流动的清洗液的高压管道（23）以及将所述喷洗管（21）和所述高压管道（23）连接在一起的密封套管接头（24）；其中，所述喷洗管（21）的一端形成为密封端并安装有所述驱动器（22），另一端与所述密封套管接头（25）的一端形成密封连接并形成绕所述喷洗管（21）中心轴线旋转配合，且所述喷洗管（21）在两端之间的外壁上开设有多个用于喷射所述高速流动清洗液的通孔（25）；所述密封套管接头（24）的另一端与所述高压管道（23）形成密封连接。